Fabricação e caracterização de dispositivos baseados em heterojunções híbridas

Prof. Dr. Carlos César Bof Bufon

Brazilian Nanotechnology National Laboratory (LNNano)

Os notáveis avanços tecnológicos observados na microeletrônica, desde a invenção do transistor, têm motivado o desenvolvimento de novos materiais, processos de manufatura e integração de sistemas sem precedentes. Nesta caminhada tecnológica, a adição de novas funcionalidades aos dispositivos eletrônicos tem sido buscada exaustivamente. Através da utilização de métodos do tipo “top-down” e “bottom-up”, novas funcionalidades podem ser incrementadas a plataformas inorgânicas (como transistores, capacitores e sensores) a partir da incorporação de materiais orgânicos, tais como, moléculas e polímeros. Esta combinação de materiais com naturezas distintas dá origem aos dispositivos híbridos. Neste conjunto de palestras trataremos dos processos de fabricação e caracterização de heterojunções híbridas, preparadas a partir da combinação de filmes finos (metálicos, semicondutores e isolantes) com camadas orgânicas. Um enfoque maior será dado à utilização da técnica de ALD (Atomic Layer Deposition) para a formação de filmes ultrafinos de óxidos com alta constante dielétrica. Tais filmes, são utilizados em conjunto com as camadas dielétricas orgânicas, na criação de heterojunções híbridas com propriedades físico-químicas únicas.